Pou reyalize stab lajè liy ultra-amann ak kontwòl espas nan ± 0.2mil, yon sistèm kontwòl fèmen-bouk bezwen yo dwe etabli nan tout pwosesis la nan seleksyon materyèl, teknoloji debaz, presizyon ekipman, ak kontwòl anviwònman an. Sa ki annapre yo se chemen teknik posib:
Kontwòl presizyon sous materyèl
Seleksyon substrate: substrats seramik oswa substrats polymère modifye ak koyefisyan ekspansyon tèmik ki ba anpil, epi deformation tèmik nan tout pwosesis la kontwole nan 0.1mil pou fè pou evite liy etann / kontraksyon ki te koze pa fluctuations tanperati a.
Materyèl fonksyonèl tès depistaj: Fè egzateman kontwole viskozite a nan fotorezistans ak konsistans nan sansiblite fotosensib. Gwosè patikil keratin kondiktif la kontwole nan nivo mikromèt pou asire epesè kouch inifòm epi pa gen okenn burrs sou bor liy enprime yo.
Depo ak mekanis itilizasyon: Anviwònman depo materyèl la se tanperati konstan ak imidite, epi règ premye antre, premye soti aplike pou evite devyasyon gwosè ki te koze pa absòpsyon imidite fotorezist ak degradasyon pèfòmans lisier.
Nwayo litografi pwosesis amelyorasyon
Adopte LDI lazè dirèk D 'teknoloji: konplètman elimine pwoblèm yo deformation ak aliyman devyasyon nan ekspozisyon fim tradisyonèl yo, amelyore presizyon nan pwezante ekspoze nan ± 0.01mm (apeprè ± 0.4mil), ki se avantou debaz la pou reyalize ± 0.2mil kontwòl.
Paramèt ekspozisyon egzak kontwòl bouk fèmen: Estabilize enèji ekspoze nan yon seri 120-150mJ/cm², dinamik ajiste paramèt pou 2-3mil liy ultra amann, pwolonje tan ekspoze pa 15% pandan y ap diminye enèji ekspoze a 5-8%, evite ekspansyon lajè liy ki te koze pa solidifikasyon twòp nan kwen liy.
Prechofaj nan substra anvan ekspoze: Estabilize tanperati a substrate nan pwosesis la mete valè davans pou elimine konplètman entèferans nan ekspansyon tèmik ak deformation kontraksyon nan pwosesis ekspoze ki vin apre.
Optimizasyon nan presizyon pwosesis grave
Adopte yon konplo grave ak presizyon konpoze: priyorite konbinezon pwosesis "lazè grave + plasma sèk grave", prèske elimine pwoblèm nan grave bò nan tradisyonèl mouye grave, ak dirèkteman bloke presizyon nan lajè liy nan ± 0.003mm (apeprè ± 0.12mil), satisfè egzijans tolerans nan ± 0.2mil.
Kontwòl bouk fèmen nan paramèt grave: Se konsantrasyon nan iyon kòb kwiv mete nan solisyon an asid klori kòb kwiv mete etching estrikteman kontwole nan 18-22g / L, tanperati a se ki estab nan 35-40 degre, ak presyon an espre ogmante pa 10% konpare ak pwosesis konvansyonèl asire inifòm grave nan mi yo bò nan kòb kwiv mete / san yo pa lokal yo etching.
Pre konpansasyon lajè liy: Baze sou faktè a grave mezire (Pi gran pase oswa egal a 5:1), yon kantite lajan konpansasyon lajè liy nan apeprè 0.6mil rezève davans pandan faz nan konsepsyon konpanse pèt la lajè liy ti pandan pwosesis la grave.
Ekipman ak sistèm tès sipò
Segondè presizyon mouvman pwezante sistèm: adopte yon motè lineyè + griyaj règ plen achitekti fidbak, reyalize nanomèt nivo mouvman koreksyon pwezante, ak kontwole erè nan mouvman mekanik nan ekipman an nan 0.1mil.
Mekanis deteksyon an tan reyèl sou entènèt: Deplwaye konpa lazè ak sistèm deteksyon optik gwo agrandisman pou imedyatman enspekte lajè liy ak espas chak tablo apre pwosesis la. Si devyasyon an depase papòt la, yo pral deklanche yon alèt epi pwodiksyon an ap sispann pou evite defo pakèt.
Optimizasyon frigidité ekipman: Pati kle k ap deplase yo fèt ak materyèl frigidité segondè, ki izole entèferans vibrasyon ekstèn nan tout pwosesis la epi anpeche devyasyon pwezante ki te koze pa Vibration.
Kontwòl konplè dimansyon nan anviwònman ultra pwòp
Konstan tanperati ak imidite atelye: Kontwole fluctuation tanperati a nan zòn nan pwosesis nan ± 0.5 degre, estabilize imidite a nan 40% -60%, ak elimine ekipman tèmik deformation ak varyasyon pèfòmans fotorezist ki te koze pa tanperati anviwònman an ak chanjman imidite.
Kontwòl lapwòpte nivo 100: Atelye pwosesis debaz la satisfè estanda pwòpte nivo 100 nivo, konplètman filtre patikil pousyè nan lè a, epi evite pousyè ki adhere ak sifas substra a, sa ki lakòz domaj liy ak protrusions, ak domaje konsistans nan lajè liy ak espas.